超淨工(gōng)作(zuò)台的(de)結構及如(rú)何空(kōng)氣淨化(huà)↓≤↓§說(shuō)明(míng) 空(kōng)氣經過過濾的(de)生(shēng)産Ω₽環境首先被航空(kōng)航天工(gōng)業(yè)↑↑☆使用(yòng)。

　　即使一(yī)個(gè)極其微(wēi)小(xiǎo)的(de)缺陷都(dōu∞™)可(kě)造成衛星工(gōng)作(zuò)< ​✔失誤，因此，NASA（美(měi)國(guó)航空(kōng)航天中₹¶♦±心）和(hé)其服務商們建造了(le)帶有(yǒu)過濾天花(huā)闆夾層和♠¥$→(hé)過濾牆體(tǐ)的(de)車(chβ ē)間(jiān)。而且首創了(le)許多(€ ≤duō)基本的(de)污染控制(zhì)理(lǐ)念，其中包括從(cóng)工(gō​✘ng)作(zuò)人(rén)員(yuán)潔淨服到≈∞ (dào)潔淨室使用(yòng)物(wù)的(de)管理(lǐ)方法。 半導體(tǐ)工​λ↑(gōng)業(yè)采用(yòng)了(le)許多(duō)這(zhè)方面的(de)技(jìα±σδ)術(shù)。

　　然而一(yī)個(gè)主要(yào)的(de)問(wèn)題是(shì)當從ε©​(cóng)小(xiǎo)加工(gōng)車(chē)間(jΩ↑↔iān)擴建為(wèi)有(yǒu)更多(duō)工(gōng)人(rén)工(gōng)作(£γzuò)的(de)大(dà)型車(chē)間(jiān)後，很(hěn​δ)難保持其固有(yǒu)的(de)潔淨度。早期半導體(tǐ)工(gōng)業(yè)把帶過濾 γ天花(huā)闆夾層和(hé)牆體(tǐ)的(de)方法演化(huà)為£‍∑ε(wèi)超淨工(gōng)作(zuò)台法。這(zhè)個★≤×(gè)主要(yào)是(shì)把過濾器(qì)裝在單個(gè)工(gōng)↔≠作(zuò)台上(shàng)，并使用(yòng)無脫落的(de)物(wù)質。在工( '↕∑gōng)作(zuò)台以外(wài)，晶圓被 ±★裝在密封的(de)盒子(zǐ)中儲存、運輸。 在大(dà)型車(±↔♠←chē)間(jiān)中按順序排列的(de)工(gōng)作(zuò)台（>Ωγ♦叫做(zuò)工(gōng)作(zuò)層流罩）組成加工(gōng)區(qū)，使晶圓≈ ε依工(gōng)藝次序經過而不(bù)從(cóng)露于空(kō↕↔Ωng)氣中。潔淨工(gōng)作(zuò)罩中的(de)過濾器(qì)是(shλ↔'ì)一(yī)種高(gāo)效顆粒搜集過濾器(qì)（HEPA高(gāo₩±)效過濾器(qì)）。這(zhè)些(xiē)過↓£←♣濾器(qì)是(shì)由含許多(duō)小(xiǎoφ'©)孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的(de)脆性纖維組成，由于高(gāo)"♥±密度的(de)小(xiǎo)孔與大(dà)面積的(de)過濾層，使€£得(de)大(dà)量的(de)空(kōngδ ∞)氣低(dī)速流過。

　　由于低(dī)速空(kōng)氣可(kě)避免産生(shēng)空(kōng)氣流，有(yǒ​≥>πu)利于工(gōng)作(zuò)台的(de)潔淨度，并且對(duì)于操作(∑§™zuò)員(yuán)而言，在舒适的(de)環境中工(g‍≥φεōng)作(zuò)也(yě)是(shì)必要(yào)的(de)。典型的 <₽(de)空(kōng)氣流量6為(wèi)每分(fēn)鐘(zhōng)90到(dào)↑£100英寸。HEPA過濾器(qì)可(kě)達到(dào)99.99%或更高(gāo)的(£∑de)過濾效率，并可(kě)用(yòng)于π≈♦三種淨化(huà)方法中。

　　一(yī)般來(lái)說(shuō)，HEPA高(g>‍āo)效過濾器(qì)裝于超淨工(gōng)作(zuò)台頂部。空(kōng)氣由風(fēng)扇≠φ吸入先通(tōng)過前置過濾器(qì)，再通(tōng)$>過HEPA過濾器(qì)，并以均勻平行(xíng)的(de)方式流出，在工(gōng)作(φ¶zuò)台表面改變方向，流出工(gōng)作(zuò)台。安裝檔闆可(kě)控'∞制(zhì)晶圓表面空(kōng)氣流動方向★↔，通(tōng)常這(zhè)種方式稱為(wèi)空(kōng)氣層流立式式（VLF）工(gōng"&>)作(zuò)台，它是(shì)由空(kōng)氣流的(de)方向命名的(de)。₹‍•有(yǒu)些(xiē)工(gōng)作(zuò)台把HEPA過濾器(∞$ qì)裝于工(gōng)作(zuò)台後部，這(zhè)種方式被稱為(wèi)空(kōn♥☆÷"g)氣層流平行(xíng)（HLF）式工(gōng)作(zuò)台。 高(gāo)效空™γ(kōng)氣過濾器(qì)（HEPA）.DirtyAir髒空(kōng)氣.CleanAir淨÷₽×‍空(kōng)氣.空(kōng)氣層流立式工(gōng)£‌₩作(zuò)台.Blower鼓風(fēng)機(λ←↕jī).HEPAFilterHEPA過濾器(qì).Prefilter前級過濾器(qì) .S↓α₹←hield擋闆 　　AirFlow空(kōng)氣流 Wor ↑kSurface工(gōng)作(zuò)台±→面.

　　這(zhè)兩種工(gōng)作(zuò)台按兩種方法來(‍®☆&lái)保持晶圓清潔：首先是(shì)工(gōng)作(zuò)台內(nèi)的(de)空(kōn✘ <•g)氣淨化(huà)；其次，淨化(huà↕ו$)過程在工(gōng)作(zuò)台內(nèi)産生(shēng)一(yī)點空(kō>∞ng)氣正壓，正壓可(kě)防止由操作(zuò)員(yuán)與¥×₹走廊産生(shēng)的(de)污染物(wù)進  ♦δ入工(gōng)作(zuò)台。 使用(yòn  g)化(huà)學溶液的(de)工(gōng)藝需要(yào)對(duì)VLF↔♠★ε式工(gōng)作(zuò)台進行(xíng)特殊設計(jì)，這₽€ (zhè)種工(gōng)作(zuò)台必須接有(yǒu)空(kōng)氣☆ε排風(fēng)，以吸收化(huà)學溶液蒸汽，因為(wèi)蒸汽會(huì)§φ≈産生(shēng)安全及污染的(de)危險。

　　在這(zhè)種設計(jì)下(xià)，必須平衡VLF與排風(fēng)中的(→π<de)空(kōng)氣流，來(lái)維持工(gōng)作(zuò)台的(de)潔>±淨級别數(shù)。而且還(hái)要(yào)求晶片需存放(fàng)在工(gōng)作(÷ ≠↑zuò)台中相(xiàng)對(duì)較潔淨™λ的(de)前部。 超淨工(gōng)作(zuò)台的(de)方法還(hái)可(kě)應用(yò☆®§←ng)于現(xiàn)代晶圓加工(gōng)設備中。在每台設備上(shàng±¥)安裝VLF或HLF式工(gōng)作(zuò)台來(l¶β​☆ái)保持晶圓在裝卸過程中潔淨。